K-Cell-1是上海洛克斯蒂科技自主研發(fā)推出的一款單口K-Cell蒸發(fā)源，專為滿足現(xiàn)代高科技材料研發(fā)和生產(chǎn)中對(duì)薄膜精確、穩(wěn)定沉積的嚴(yán)苛要求而設(shè)計(jì)。其溫度范圍是50-1200 ℃，無(wú)論是有機(jī)分子還是部分高純無(wú)機(jī)材料（如銅、金等），均可實(shí)現(xiàn)高效、高質(zhì)量的薄膜沉積。K-Cell蒸發(fā)源內(nèi)置先進(jìn)的PID溫度控制系統(tǒng)，具備±0.1℃的超精密溫度穩(wěn)定性，確保每一次蒸發(fā)過(guò)程都在嚴(yán)格的溫度條件下進(jìn)行，從而保證薄膜厚度的一致性和均勻性，使科研工作者和工程師們?cè)诟鞣N復(fù)雜應(yīng)用中獲得理想的薄膜性質(zhì)。為了滿足多元化的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)需求，該蒸發(fā)源配備了30段可編程溫度曲線功能，用戶可以根據(jù)不同的薄膜材料特性和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)自由設(shè)定升降溫方案。無(wú)論是快速熱處理、階梯式多層沉積，還是復(fù)雜的梯度薄膜制備，K-Cell蒸發(fā)源都能輕松應(yīng)對(duì)，提供無(wú)可比擬的工藝靈活性。
| 主要參數(shù) | |
| 溫度范圍： | 50 -1200 ℃ |
| 安裝法蘭： | DN40CF |
| 坩堝數(shù)量： | 1個(gè) |
| 坩堝容積： | 1 cc - 4cc可選 |
| 坩堝材質(zhì)： | PBN, Al2O3, Quartz |
| 溫度穩(wěn)定性： | ±0.1 ℃ |
| 溫控方式： | PID控溫 |
| 溫控曲線： | 50段程序段自由設(shè)計(jì) |
| 真空內(nèi)長(zhǎng)度： | 210 mm （150 - 450 mm 可選） |
| 真空內(nèi)最大直徑： | 34 mm |
| 擋板類型： | 手動(dòng)（可選馬達(dá)控制） |
| 冷卻方式： | 集成水冷 |
| 最高烘烤溫度： | 200 ℃ |
546479113
